三坐標測量機的正常運轉離不開氣浮軸承，因此需要壓縮空氣。壓縮空氣的質量直接影響三坐標測量機的正常工作及使用壽命，因此氣源處理，就顯得尤為重要。一般來說，三坐標測量機的氣源的雜質主要來源于：由系統外部通過空壓機等吸入的雜質、系統內部產生的雜質、系統安裝和維修時產生的雜質等。
 

　　不理想的是氣源中含有相當數量的雜質，主要分為三類，即水、油、塵，其中大約80%在尺寸上小于2μm，空壓機吸氣過濾器無力消除。此外，空壓機系統內部也會不斷產生磨屑、銹渣和油的碳化物，它們將加速用氣設備的磨損，導致密封失效或堵塞。

　　水份

　　大氣中相對濕度一般高達65%以上，經壓縮冷凝后，即成為濕飽和空氣，并夾帶大量的液態水滴，它們是管道和閥門、三坐標測量機等設備銹蝕的根本原因，冬天結冰還會阻塞氣動系統中的小孔通道。值得注意的是：即使是分離干凈的純飽和空氣，隨著溫度的降低，仍會有冷凝水析出，大約每降低10℃，其飽和含水量將下降50%，即有一半的水蒸氣轉化為液態水滴。

　　油份

　　壓縮機類型分為活塞式和螺桿式;大部分空壓機是采用潤滑油來潤滑和冷卻其運動部件(如螺桿、活塞等)的，但污染了壓縮空氣。在空壓機內潤滑油與高溫的壓縮空氣直接接觸，壓縮空氣中的油污以“油滴”、“油霧(氣溶膠)”和“油蒸氣”三種形式存在。被從壓機內帶到供氣系統中的油在任何情況下都沒有好處。

　　三坐標測量機屬于精密測量儀器，采用空氣軸承導向，實現導軌間無摩擦和磨損，可以保持長期的性能均勻性。高壓氣體通過空氣軸承中細小的氣孔進入工作面與導軌面之間，形成均勻的氣隙，空氣軸承的正常工作氣隙在3～10μm之間。因此在壓力正常的條件下，保證壓縮空氣的純凈度及導軌面的平面度是空氣軸承正常工作的關鍵。